表面電阻率的測量 
  表面電阻率定義為材料表面的電阻，并表示為歐姆（通常稱為方塊電阻）。其測量方法是將兩個電極放在測試樣品的表面，在電極之間施加一個電位差，并測量產生的電流。

偏置修正技術 
  在測量電阻率非常高的材料時，背景電流可能會引起測量誤差。背景電流可能是由材料中儲存的電荷（介電吸收）、靜電或摩擦電的電荷或壓電效應引起的。背景電流可能等于或大于所加電壓源激勵出的電流。如果背景電流和測量的電流同極性，那么測量出的電流值將會比真值大得多。如果背景電流是反極性的，那么這種不希望有的電流可能會引起反極性的電流讀數。這就是說，電流的極性和所加電壓的極性相反，于是計算出的電阻將為負值。為了解決這個問題，采用變換極性和變換電壓的方法實際上可以消除背景電流對樣品的影響。  

變換極性法  
  變換極性法施加一個正極性的偏置電壓，然后在規(guī)定的延遲時間后測量電流。接著將極性反向，經過同樣的延遲時間再測量電流。這種極性反轉過程可以重復任意的次數。根據zui近的電流測量結果，按照加權平均可以計算出電阻值。